[20p-PA2-1~35] 12.3 機能材料・萌芽的デバイス

[20p-PA2-24] フォトポリマーの重合時交差拡散を利用したマイクロ流路作製技術(２)

〇木本 匠¹、福田 隆史²、江本 顕雄¹ (1.同志社大理工、2.産総研電子光)

キーワード：マイクロ流路、光重合

我々はフォトポリマーの重合時交差拡散による物質移動を利用したマイクロ流路の作製方法を提案している。本研究では、作製された流路について、より深い溝を形成するために、初期膜厚・粘度・露光時間等の種々の条件について検討を行った。結果として、約40 µmの深さの溝を形成することができた。