[20p-PA5-1~11] 8.1 プラズマ生成・診断

[20p-PA5-11] 極短ギャップ放電における酸素原子のTALIF分光計測と温度推定

〇中川 雄介¹、川北 拓弥¹、内田 諭¹、杤久保 文嘉¹ (1.首都大院システムデザイン)

キーワード：Oラジカル、レーザー計測、短ギャップ放電

放電式オゾン発生装置において、オゾン生成に寄与する酸素原子の挙動は非常に重要である。従来、極短ギャップオゾン発生装置の放電場における酸素原子の密度及び温度の挙動は不明であったが、本研究ではレーザー誘起蛍光法により酸素原子密度の時間変化を直接計測した。酸素原子密度の減衰速度と化学反応シミュレーションを比較した結果、放電場の温度はおよそ480 Kと推定された。