[20p-PA5-1~11] 8.1 Plasma production and diagnostics

[20p-PA5-4] Analysis of Space Distribution of Fine Particles by Imaging Mie-Scattering Ellipsometry

〇Yasuaki Hayashi^1,2, Yuya Fujita¹, Akio Sanpei¹ (1.Kyoto Inst. Technol., 2.Chubu Univ.)

Keywords:ellipsometry, Mie-scattering ellipsometry, imaging Mie-scattering ellipsometry

前回の発表において、イメージング・ミー散乱エリプソメトリを用いて、プラズマ空間中に捕捉され層状に並んだ準単分散の微粒子が0.01µm程度の粒径差で垂直方法に分布していることを明らかにした。今回は、画像内水平方向の位置により散乱角が変化することを考慮し、測定の妥当性について調べた。