[20p-PA5-1~11] 8.1 プラズマ生成・診断

[20p-PA5-4] イメージング・ミー散乱エリプソメトリによる微粒子粒径空間分布の解析

〇林 康明^1,2、藤田 佑也¹、三瓶 明希夫¹ (1.京都工繊大、2.中部大学)

キーワード：エリプソメトリ、ミー散乱エリプソメトリ、イメージングミー散乱エリプソメトリ

前回の発表において、イメージング・ミー散乱エリプソメトリを用いて、プラズマ空間中に捕捉され層状に並んだ準単分散の微粒子が0.01µm程度の粒径差で垂直方法に分布していることを明らかにした。今回は、画像内水平方向の位置により散乱角が変化することを考慮し、測定の妥当性について調べた。