[20p-PA5-1~11] 8.1 Plasma production and diagnostics

[20p-PA5-6] Microscopic Measurement of Meter-Scale Atmospheric-Pressure Microwave Plasma

〇Haruka Suzuki¹, Yosuke Koike¹, Hirotsugu Koma¹, Yoshiki Baba¹, Hirotaka Toyoda¹ (1.Nagoya Univ.)

Keywords:atmospheric pressure plasma, microwave, microscopic measurement

我々は、電磁波伝搬方向を一方向に制御することにより定在波発生を抑制した非対称構造導波管に長尺スロットを設けることにより、大気圧マイクロ波プラズマを生成する方法を提案してきた。これまでの調査では、長尺長手方向のプラズマの不均一性は確認されなかったが、スロット間の微細なプラズマ空間分布が考慮されていなかったため、今回、顕微鏡を用いてスロット内プラズマの詳細な構造の調査を試みた。