[20p-PA5-1~11] 8.1 プラズマ生成・診断

[20p-PA5-6] メートル級長尺大気圧マイクロ波プラズマの顕微計測

〇鈴木 陽香¹、小池 洋右¹、小間 浩嗣¹、馬場 賀己¹、豊田 浩孝¹ (1.名大工)

キーワード：大気圧プラズマ、マイクロ波、顕微計測

我々は、電磁波伝搬方向を一方向に制御することにより定在波発生を抑制した非対称構造導波管に長尺スロットを設けることにより、大気圧マイクロ波プラズマを生成する方法を提案してきた。これまでの調査では、長尺長手方向のプラズマの不均一性は確認されなかったが、スロット間の微細なプラズマ空間分布が考慮されていなかったため、今回、顕微鏡を用いてスロット内プラズマの詳細な構造の調査を試みた。