[20p-PA5-1~11] 8.1 プラズマ生成・診断

[20p-PA5-9] 高出力パルスマグネトロンスパッタによるプラズマ生成種の励起温度

〇(M1)西田 寛¹、平井 芳拓¹、中込 雄基¹、西宮 信夫¹、實方 真臣¹、山本 宏晃²、戸名 正英²、塚本 恵三²、大下 慶次郎³、美齊津 文典³ (1.東京工芸大工、2.（株）アヤボ、3.東北大院理)

キーワード：マグネトロンスパッタリング、プラズマ計測、光学的計測

近年、高出力パルスマグネトロンスパッタリング（HPPMS）によって生成するプラズマに対する組成分析や分光分析に関する研究が数多くなされている。本研究では、HPPMSにより生成されるプラズマ発光の原子スペクトル解析を通じて、プラズマ中に含まれる発光種の励起準位分布を表す指標となる励起温度を見積り、それらをもとにプラズマ内における原子・イオン過程について検討を試みる。