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[20p-PA6-2] 大気圧アルゴンプラズマジェットのイオン組成解析
キーワード:大気圧プラズマ、イオン、質量分析
大気圧プラズマによる気相化学反応の解明を目指して、大気圧イオン化質量分析装置を用いて大気圧アルゴンプラズマで生成するイオンの質量スペクトル測定を行い、イオンの化学組成の分析を行った。その結果、大気圧アルゴンプラズマジェットの内部と外部では負イオンの組成が大きく異なり、NOx系のイオンはプラズマジェットの内部ではほとんど生成されずに、プラズマジェットの外側で生成していることを明らかにした。