[20p-PB3-1~11] 9.3 ナノエレクトロニクス

[20p-PB3-3] 金ナノギャップ電極を用いたシリコンナノ結晶塗布膜の電気特性評価

〇河津 知樹¹、加納 伸也¹、藤井 稔¹ (1.神大院工)

キーワード：ナノギャップ電極、シリコンナノ結晶コロイド

半導体ナノ結晶コロイドは、非真空下で半導体薄膜を塗布形成できるナノ材料である。我々は、有機分子による表面修飾なしで極性溶媒中に均一に分散するシリコンナノ結晶コロイド(SiNC)を開発している。本研究は、Adhesion lithographyで作製した金ナノギャップ電極を用いて、SiNC塗布膜の電気伝導過程を明らかにすることを目的とした。ナノメートルオーダーの電極間に生じる強い電界による、SiNC薄膜中の電気伝導過程や電気伝導度の変化を調べる。