[20p-PB5-1~85] 2 放射線（ポスター）

[20p-PB5-73] STEM-TES-EDSシステムによるX線エネルギースペクトル測定

〇高野 彬¹、田中 啓一¹、諸永 拓²、原 徹² (1.日立ハイテク、2.NIMS)

キーワード：TES、STEM、EDS