[21a-133-1~8] 16.3 Bulk, thin-film and other silicon-based solar cells

△ [21a-133-1] Influence of laser scan speed on improvement of electrical properties of liquid-phase-crystallized silicon passivated by hydrogen plasma

〇(P)Hiroshi Umishio¹, Takuya Matsui¹, Hitoshi Sai¹, Koji Matsubara¹ (1.AIST)

Keywords:crystalline silicon thin-film, thin-film silicon solar cells, liquid-phase-crystallization

低コストかつ高効率な太陽電池材料として、a-Si薄膜をラインレーザーでスキャンし溶融・固化する液相結晶化法（Liquid Phase Crystallization：LPC）により作製される、液相結晶化シリコン薄膜(LPC-Si)が提案されている。LPC-Siの高品質化には水素プラズマパッシベーション(HPP)が不可欠であるが、HPPの影響まで含めたLPC条件の最適化は成されていない。本研究では、異なるレーザーのスキャン速度で作製された複数のLPC-Siの電気特性に対し、HPPが与える影響の差を調査した。