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[21a-133-8] シリコン酸化膜を用いたシリコン量子ドット積層構造における構造・電気的特性評価
キーワード:量子ドット、シリコン、太陽電池
単接合型結晶シリコン太陽電池の発電効率限界超えた更なる高効率化に向け、オールシリコンタンデムセルを検討している。このトップセルとしてシリコン量子ドット(Si-QD)を用いる検討がなされている。Si-QDは量子サイズ効果によるバンドギャップチューニングが可能である。本研究ではSi-QDのパッシベーションとしてSiOxを用いたSi-QD積層構造を作製し、構造・電気的特性を評価した。