[21a-141-1~13] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[21a-141-5] 4H-SiC厚膜エピにおける深さ分解ライフタイム測定

〇(M1)平山 貴史¹、櫛部 光弘²、宮坂 晶^3,4、児島 一聡⁴、加藤 智久⁴、奥村 元⁴、加藤 正史¹ (1.名工大、2.東芝、3.昭和電工、4.産総研)

キーワード：炭化ケイ素、キャリアライフタイム、自由キャリア吸収