[21a-143-1~11] 【CS.6】 Code-sharing Session of 3.11 & 13.6

△ [21a-143-3] Integration of quantum-dot single-photon sources onto silicon waveguides by transfer printing

〇(D)Ryota Katsumi^1,3, Yasutomo Ota², Alto Osada², Takeyoshi Tajiri², Kazuhiro Kuruma¹, Takuto Yamaguchi¹, Masahiro Kakuda², Satoshi Iwamoto^1,2, Hidefumi Akiyama³, Yasuhiko Arakawa² (1.IIS, 2.Nano Quine, 3.ISSP)

Keywords:single photon, quantum dot, transfer printing

光量子演算のスケールアップに向けて、大規模光回路の作製に適したSiフォトニクスの利用が注目されている。一方、スケーラブルな光量子回路の構築には、量子ドット(QD)に代表される決定論的動作が可能な量子光源の集積が必要となる。しかし、化合物半導体で形成されるQDをSi光回路上にハイブリッド集積する場合、Si-CMOSプロセスとの整合性を担保することは容易ではない。さらには、QDの空間・波長ばらつきにより、所望の光源を所望の位置に集積することは困難である。そこで我々は、これらの課題を解決する手法として、ピック-プレース操作に基づいた転写プリント法の利用を提案している。前回までに、同手法によるGaAs導波路上へのQD単一光子源の集積を実証した。今回、同手法を用いてSi-CMOS光回路上へQD光源を集積し、単一光子発生とその導波路伝搬の観測に成功したので報告する。