[21a-212A-1~10] 3.9 テラヘルツ全般

[21a-212A-10] チタンおよび白金サーミスタを用いる微細メアンダ構造テラヘルツアンテナ結合マイクロボロメータ

〇廣本 宣久¹、バネルジー アミット²、エラマーアラン ドゥガデービー²、佐藤 弘明²、伊藤 大¹、青木 誠³、チャツール アプリオノ⁴、エコ ツジプト　ラハルジョ⁴、ブレンデルマン エリック⁵、猪川 洋⁶ (1.静岡大院工、2.静岡大電研、3.情通機構、4.インドネシア大工、5.カールスルーエ工科大、6.静岡大創造院)

キーワード：テラヘルツ検出器、メアンダ構造、アンテナ結合ボロメータ

テラヘルツ（THz）による非破壊計測などの応用に重要な、1THzより低い周波数帯での高検出能の常温THz検出器を実現するため、サーミスタの高抵抗化による高感度化を目的に、メアンダ構造の金属線サーミスタを用いるTHzアンテナ結合ボロメータの研究開発を行い、これまでよりも良いNEP（雑音等価電力）を実現した。THzの光学感度は、電磁界シミュレーションおよび電気感度測定とほぼ一致し、結果の信頼性は高い。