[21a-222-1~11] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[21a-222-10] 金属ターゲットから作製したSn-Oスパッタ膜の特性

〇山田 拓哉¹、彦坂 透磨¹、高柳 真司¹、本田 光裕¹、市川 洋¹ (1.名工大院)

キーワード：酸化スズ、スパッタ成膜、半導体薄膜