[21a-222-1~11] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[21a-222-7] アモルファスITOおよびIGZO薄膜の結晶化に関する研究

〇岩崎 慎平¹、山本 新吾¹、賈 軍軍¹、岡島 敏浩²、重里 有三¹ (1.青山学院大、2.九州シンクロトロン光研究センター)

キーワード：スパッタリング、シンクロトロン光、透明導電膜