2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜

[21a-232-1~12] 6.2 カーボン系薄膜

2018年9月21日(金) 09:00 〜 12:00 232 (232)

小山 和博(デンソー)、石川 豊史(産総研)

09:00 〜 09:15

[21a-232-1] 高プラズマパワー密度CVDとArガスによる高配向・高生成効率NVアンサンブルの高速合成

〇辻 赳行1、小澤 勇斗1、岩崎 孝之1、波多野 睦子1 (1.東工大)

キーワード：ダイヤモンド、NV