[21a-232-1~12] 6.2 カーボン系薄膜

△ [21a-232-4] NVセンタによるパワーデバイスの内部電界イメージング

〇金 光秀¹、水野 皓介¹、牧野 俊晴²、加藤 宙光²、小倉 政彦²、竹内 大輔²、山崎 聡²、波多野 睦子¹、岩崎 孝之¹ (1.東工大、2.産総研)

キーワード：電界計測、パワーデバイス、NVセンター