[21a-235-1~8] 7.1 X線技術

[21a-235-1] ボロンK発光分光計測のためのランタン膜付加高回折効率・広受光角ラミナー型回折格子の製作と評価

〇羽多野 忠¹、小池 雅人²、西原 弘晃³、ピロジコフ アレキサンダー²、寺内 正己¹、笹井 浩行³、長野 哲也³ (1.東北大多元研、2.量研量子ビーム、3.島津製作所デバイス部)

キーワード：回折格子、ボロン、分光計測

ボロンK発光の分析に使用される分光計の感度を向上させるため、Ni回折格子にLa層を付加して表面をC層で覆った回折格子を作製して回折効率を測定し、これまでに最も高い実測回折効率37％を得た。高回折効率が得られる入射角は従来の分光計配置よりも小さい84.2°であり、見かけの回折格子サイズを大きくできるので、高回折効率と合わせて5倍の発光検出感度増大が期待できる。