[21a-235-1~8] 7.1 X線技術

[21a-235-2] ボロンK発光分光計測のための反射増加膜付加高回折効率・広受光角軟X線ラミナー型回折格子の設計指針

〇小池 雅人¹、羽多野 忠²、ピロジコフ アレキサンダー¹、寺内 正己²、西原 弘晃³、笹井 浩行³、長野 哲也³ (1.量研量子ビーム、2.東北大多元研、3.島津製作所デバイス部)

キーワード：回折格子、軟X線、分光分析

各種の反射増加膜をNi回折格子面上に堆積しB-K 発光(6.76 nm, 183 eV)におけるラミナー回折格子の回折効率を向上させる方法の設計指針についてこれまでのDLC、La膜等の実験結果に基づき数値計算により考察したので報告する。