2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

7 ビーム応用 » 7.1 X線技術

[21a-235-1~8] 7.1 X線技術

2018年9月21日(金) 10:00 〜 12:00 235 (3Fラウンジ2)

豊田 光紀(東京工芸大)、羽多野 忠(東北大)

11:00 〜 11:15

[21a-235-5] ポリマーブレンドのEUV顕微観察に適した試料準備条件

〇(M1)相澤 駿介1、角館 俊行1、権代 詩織1、豊田 光紀1,2 (1.東北大多元研、2.東京工芸大工)

キーワード:EUV顕微鏡、高分子、原子散乱因子