[21a-PA2-1~28] 12.1 作製・構造制御

△ [21a-PA2-1] mica基板上のPTCDA薄膜の構造解析

〇(M1)照井 大貴¹、葛原 大軌¹、吉本 則之¹ (1.岩手大理工)

キーワード：有機半導体、エピタキシャル成長

有機薄膜の配向制御はデバイス作製プロセスにおいて極めて重要な要素である。エピタキシーを利用した真空蒸着法は、基板と有機分子の相互作用を活用して配向性を制御する手法として有効である。しかし、有機薄膜のエピタキシャル成長の制御技術は十分ではない。そこで、本発表では、有機半導体薄膜のエピタキシャル成長の機構の解明を目的として、mica上にPTCDA薄膜を真空蒸着により作製し、X線回折法により構造評価を行った。