[21a-PA2-1~28] 12.1 作製・構造制御

[21a-PA2-20] 高集積フレキシブルデバイスシステム作製のための応力緩衝層の評価

〇煤孫 祐樹¹、Jacquemond Achille^1,2、高橋 則之³、木野 久志⁴、田中 徹^1,5、福島 誉史¹ (1.東北大院工、2.INSA Lyon、3.東北大工、4.東北大学際研、5.東北大院医工)

キーワード：フレキシブルハイブリッドエレクトロニクス