[21p-145-1~14] 13.3 絶縁膜技術

△ [21p-145-10] 温度変動による界面ダイポール層強度の変化の環境発電への応用可能性の検討

〇濱口 高志¹、喜多 浩之¹ (1.東大院工)

キーワード：界面ダイポール、環境発電

high-k材料およびSiO₂のうちいくつかの組合せでは界面ダイポール層強度に温度依存性が見られる。これは異種酸化物を積層した構造中に生じる分極が温度依存性をもつことを意味し、焦電体の表面電荷が温度により変化するという焦電効果に類似する。本研究ではMOSキャパシタの両端に流れる変位電流が界面ダイポール層の挿入によって増大することの実証を通じ，界面ダイポール層に基づいた温度変動による環境発電への応用可能性を検討した。