[21p-145-1~14] 13.3 絶縁膜技術

[21p-145-9] 異種酸化物界面のダイポール形成に非晶質短距離秩序構造の違いが与える影響

〇金丸 翔大¹、高橋 憶人¹、ぺレア マーク¹、富田 基裕¹、渡邉 孝信¹ (1.早大理工)

キーワード：high-k、ダイポール、シミュレーション