[21p-222-1~8] 7.5 イオンビーム一般

[21p-222-1] 電子線照射中におけるTEM内Ar雰囲気に発生するイオン環境

〇徳永 智春¹、山本 悠太²、樋口 公孝²、河上 匠¹、久野 孝平¹、山本 剛久¹ (1.名大工、2.名大未来材料)

キーワード：ガス環境透過電子顕微鏡、電子線照射、イオン環境