[21p-222-1~8] 7.5 イオンビーム一般

[21p-222-7] Ge(110)への60 keVアルゴンイオン照射による表面形状効果

〇塚元 隆太¹、一宮 正義¹、高宮 幸一²、木野村 淳²、柳沢 淳一¹ (1.滋賀県立大工、2.京大複合研)

キーワード：イオンビーム、ナノ構造