[21p-223-1~12] 7.2 電子ビーム応用

△ [21p-223-3] 同一電界によるフォギング電子のエネルギー分析

〇水野 秀哉¹、西村 将太¹、久保 建統¹、小寺 正敏¹ (1.大阪工大)

キーワード：走査電子顕微鏡

走査電子顕微鏡は観察・分析・評価装置として現在の科学分野で必要不可欠である。しかし、試料の導電率が低い場合EB照射によって帯電現象が起こり安定した観察などが出来なくなる。我々はビーム直下だけでなく、フォギング電子（FGE）による照射で照射範囲外にも帯電が形成されることを我々は提唱してきた。WDと印加バイアスによって形成される電界を統一し各条件での表面電位分布を比較することでFGEのエネルギーを調べられる。