[21p-223-1~12] 7.2 電子ビーム応用

[21p-223-4] SEM/TEMによるナノ粒子粒径分布計測高度化のための試料調製法

〇黒河 明¹、熊谷 和博¹、赤井 諭²、飯田 信雄²、佐々木 義和²、菊池 真樹²、北村 真一²、眞部 弘宣² (1.産総研、2.日本電子)

キーワード：試料調製、電子顕微鏡、ナノ粒子

走査/透過電子顕微鏡法 (SEM/TEM)によるナノ粒子の粒径分布測定において、信頼性の高い計測を実現するためには、解析に適した画像が得られるような試料調製が肝要である。我々は、測定対象のナノ粒子が液中に分散された試料から電子顕微鏡法用の試料を調製するときに、凍結乾燥法を用いる方法を開発した。これにより粒子の凝集や積層の発生を抑制し、粒子が適度な間隔で基板上に配置され、粒径分布計測に適した試料調製が可能となった。