[21p-223-1~12] 7.2 電子ビーム応用

[21p-223-5] 液中分散ナノ材料用のTEM/SEM試料自動作製装置の開発

〇赤井 諭¹、熊谷 和博²、飯田 信雄¹、黒河 明²、佐々木 義和¹、菊池 真樹¹、北村 真一¹、眞部 弘宣¹ (1.日本電子、2.産総研)

キーワード：試料調整、電子顕微鏡、ナノ粒子

電子顕微鏡でナノ材料を観察する際、従来はナノ材料分散液を電顕観察用基板にマイクロピペット等で滴下し自然乾燥させていたが、この手法の欠点は凝集が発生し易く観察を阻害する点である。この問題を解決するため、我々は凍結乾燥法をベースとした液中分散ナノ材料の試料自動作製装置を試作した。インクジェット方式による微小量・定量滴下、ペルチェ冷却による試料凍結、ドライポンプによる真空乾燥処理を特徴としている。本試作機を用いて、二酸化ケイ素やポリスチレンラテックスなどのナノ材料で、凝集した粒子が極めて少なく良好に分散させることができた。