[21p-232-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

△ [21p-232-13] ダイヤモンド電解質溶液ゲートFETのスイッチング特性およびその参照電極-チャネル間距離依存性

〇(B)蓼沼 佳斗¹、井山 裕太郎¹、梶家 美貴¹、ファリナ シャイリ¹、シャムスル モフド¹、張 育豪¹、新谷 幸弘¹、川原田 洋^1,2 (1.早大理工、2.早大材研)

キーワード：ダイヤモンド、スイッチング特性、FET

ダイヤモンドが広い電位窓を有することから電解質溶液内にてゲート絶縁膜なしで動作する、ダイヤモンド電解質溶液ゲートFETs(SGFETs)の電気特性について報告してきた。本研究では、スイッチング特性と、またその特性の参照電極-チャネル間距離の依存性を評価した。SGFETは、距離0.01m、5mどちらも100kHzのパルス入力に対し反転応答し、また距離に依らず同程度の飽和電流を得られることがわかった。