[21p-232-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

△ [21p-232-2] 金属原子添加を伴う熱フィラメントCVD成長によるダイヤモンド転位密度の低減とSBD特性改善

〇大曲 新矢¹、山田 英明¹、坪内 信輝¹、田中 真悟²、茶谷原 昭義¹、梅沢 仁¹、杢野 由明¹、竹内 大輔¹ (1.産総研先進パワエレ、2.産総研電池技術RI)

キーワード：ダイヤモンド、転位、ショットキーバリアダイオード