[21p-234B-1~8] 6.4 薄膜新材料

[21p-234B-2] EDTA金属錯体と金属アセチルアセトナートを原料としたキレートフレーム法による金属酸化物膜の合成

〇菊池 泰斗¹、中村 淳^2,1、小松 啓志¹、齋藤 秀俊¹ (1.長岡技科大、2.中部キレスト)

キーワード：EDTA金属錯体、金属アセチルアセトナート、キレートフレーム法