[21p-234B-1~8] 6.4 薄膜新材料

[21p-234B-4] 誘電体バリア放電を利用した多孔質TiO₂層の作製と色素増感太陽電池への応用

〇眞弓 慎司¹、奥村 亮祐¹、鷺坂 潤平¹、奥谷 昌之¹ (1.静岡大院工)

キーワード：非平衡二次元プラズマ、TiO2、色素増感太陽電池

本研究グループでは、大気圧下での誘電体バリア放電を利用して非平衡二次元プラズマを発生させ、これを前駆体を事前に塗布した基板へ照射してSnO₂やZnO₂の製膜を報告した。本研究では、この製膜技術を多孔質TiO₂層の製膜に利用し、色素増感太陽電池（DSSC）を作製した。