[21p-235-1~12] 7.1 X線技術

[21p-235-9] EUV光誘起水素プラズマの分光計測

〇神家 幸一郎¹、筧田 知慶¹、竹中 怜¹、戸室 啓明¹、國島 正人¹、スマン ゲオルグ¹、柳田 達哉¹、児玉 健¹、富田 健太郎²、今田 玲²、内野 喜一郎² (1.ギガフォトン、2.九大総理工)

キーワード：EUV光源、EUV光誘起プラズマ、分光計測

LPP方式EUV光源のコレクタミラー表面では、Snの付着と、EUV照射により生成された水素プラズマによるSnエッチングが同時に進行していると推定される。この水素プラズマの発生メカニズムを解明し、エッチングプロセスを最適化することを目的として、EUV誘起水素プラズマの計測を行った。計測手法として分光計測を適用し、EUV照射により固体表面に水素プラズマが発生している事を確認した。本件では、その実験結果を報告する予定である。