[21p-CE-1~5] The role of functional oxides in high-frequency devices for IoT

[21p-CE-5] Recent developments in piezoelectric thin films for BAW filters

〇Takahiko Yanagitani^1,2,3 (1.Waseda Univ., 2.JST PRESTO, 3.ZAIKEN)

Keywords:Piezoelectric thin films, BAW filters, AlN

近年、BAWフィルタ(FBAR)は5G以降の3 GHzを超えるフロントエンドの周波数フィルタとして有望視されている。本講演ではBAWフィルタ用の圧電薄膜に要求される性能や、窒化物薄膜と酸化物薄膜の比較、成膜時の問題点、評価方法について議論する。