2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

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[21p-PB1-1~18] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

2018年9月21日(金) 13:30 〜 15:30 PB (白鳥ホール)

13:30 〜 15:30

[21p-PB1-10] プラズマ処理により形成したCNTs上のイソシアネート基の評価

道谷 一貴1、内田 秀雄1、小川 大輔1、中村 圭二1 (1.中部大学工)

キーワード:カーボンナノチューブ、プラズマ