[21p-PB1-1~18] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[21p-PB1-14] 長尺大面積平行平板電極型誘電体バリア放電を用いた フッ素樹脂の表面処理

〇杉山 和也¹、荻野 明久¹、永津 雅章^1,2 (1.静大院工、2.静岡大学電子工学研究所)

キーワード：プラズマ表面処理、フッ素樹脂、大面積プラズマ