2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

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[21p-PB1-1~18] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

2018年9月21日(金) 13:30 〜 15:30 PB (白鳥ホール)

13:30 〜 15:30

[21p-PB1-7] ターゲット利用率向上のための回転十字型高周波マグネトロンスパッタ装置の開発

〇(M1)田中 黎1、大津 康徳1、中村 優太朗1 (1.佐大院工)

キーワード:スパッタリング、マグネトロン、プラズマ