[21p-PB3-1~5] 13.5 デバイス／集積化技術

[21p-PB3-1] TFET の短チャネル効果と界面ポテンシャル

〇福田 浩一¹、浅井 栄大¹、服部 淳一¹、森 貴洋¹、森田 行則¹、水林 亘¹、昌原 明植¹、右田 真司¹、太田 裕之¹、遠藤 和彦¹、松川 貴¹ (1.産総研)

キーワード：トンネルFET、短チャネル効果、エネルギーバンド

TunnelFETの短チャネル効果を半導体・ゲート絶縁膜界面のバンドプロファイルの視点で議論する