15:00 〜 15:15 △ [20p-E201-8] ミストCVD法によるAlNテンプレート基板上ε-(AlxGa1-x)2O3の結晶成長 〇田原 大祐1、西中 浩之1、森本 尚太1、吉本 昌広1 (1.京工繊大)