18:00 〜 18:15 [18p-A202-13] 量子ドリフト拡散モデルによるⅢ-Ⅴ族FinFETの短チャネル効果解析 〇鍾 菁廣1、森 伸也1、廣木 彰2、小田中 紳二3 (1.阪大院工、2.京工大、3.阪大CMC)