13:30 〜 15:30 [19p-P6-5] AlN圧電薄膜の結晶構造における種々の元素添加の影響 田中 早紀2、〇上原 雅人1,2、Anggraini Sri Ayu1、奥山 哲也3、山田 浩志1,2、秋山 守人1 (1.産総研、2.九大総理工、3.久留米高専)