16:00 〜 16:15 △ [17p-F206-9] NH3雰囲気フラッシュランプアニールによるHigh-kゲートスタックの界面準位密度評価 〇首藤 広大1、吉仲 泰萌1、末政 涼1、河原崎 光2、青山 敬幸2、加藤 慎一2、奈良 安雄1 (1.兵県大工、2.(株)SCREENセミコンダクターソリューションズ)