16:00 〜 18:00 [17p-P12-11] ALD-Al2O3/GaN MOS 構造における高圧水蒸気処理の圧力依存性 〇(M1)中村 翼1、藤本 裕太1、上沼 睦典1、石川 泰明1、浦岡 行治1 (1.奈良先端大)