16:50 〜 17:20 [19p-C101-7] 集積化CMOS-MEMS技術による高感度慣性センサと応用システム 〇伊藤 浩之1、山根 大輔1、小西 敏文1、道正 志郎1、石原 昇1、町田 克之1、曽根 正人1、三宅 美博1、益 一哉1 (1.東工大)