16:15 〜 16:30 △ [19p-F202-10] スパッタリング法によるSr-Si膜の作製 〇(B)青山 航大1、清水 荘雄1、倉持 豪人2、召田 雅実2、秋池 良2、木村 好里1、舟窪 浩1 (1.東工大、2.東ソー)