10:00 〜 10:15 △ [20a-G203-5] 励起波長依存型高感度紫外光電子分光法によるa-IGZO薄膜のギャップ内準位の直接観測 〇(M1)松崎 厚志1、佐藤 友哉1、東海林 弘2、石井 久夫1,3,4 (1.千葉大院融合理工、2.出光興産、3.千葉大学先進、4.千葉大学MCRC)