13:30 〜 15:30 [20p-P4-14] 超音速噴流を用いたVHFプラズマによるDLC成膜の一様性 〇大石 亮1、山本 翔大1、吉瀬 丈士1、坂本 英嵩1、早田 倫太郎1、牟田 浩司1 (1.近畿大産業理工)